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アクチュエーター搭載自動弁 SOFIC型(ステンレス製)

小型且つ軽量、高推力を実現した高性能ステンレス製自動弁

アクチュエーター搭載自動弁 SOFIC型(ステンレス製)
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■<SOFIC>は、エアー加圧により作動する、小型且つ軽量、高推力を実現した<高性能ステンレス製自動弁>です。


この<高性能ステンレス自動弁>は、耐食性・耐熱性に優れたステンレス材を使用。従来同型機に比べ、アクチュエーター荷重が3500[N]から5000[N]へ大幅アップ。自動開閉部も、従来製品と比較して、更なる小型化・軽量化を実現、スムーズな容器着脱・設置を可能にしました。


本製品は、高純度ガス、特殊材料ガス等に使用する高圧バルブとして、多数のユーザー様に採用されています。



≪主な対応ガス種≫


腐食性ガス/毒性ガス 他


※厳格な安全性が求められる半導体製造工程にに必要な、腐食性ガス・毒性ガスに対応。オイルフリー構造により、あらゆる環境で使用可能です。

※オプションで始動時に発生する圧力上昇を抑制可能なスロースタート機能搭載タイプもご用意しています。


詳しくはメール・お電話でお問い合わせください。



★<ハマイの高圧バルブは高品質を追求>


ハマイの高圧バルブは、ハマイ独自のダブルOリング構造(2重のシール)や、不燃性にこだわったオイルフリー設計を多数の製品に採用。高気密シート搭載により、半導体や産業機器製造において優れた性能を発揮、安全で確実な作動を実現しています。


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■【製品バリエーション】

・PAW型

・EGPA型 


■【本製品の特長】

●5,000Nの高推力アクチュエーターを搭載。

●小型・軽量化により、容器の着脱や設置性が大幅向上。

●日本国内の自社工場による高品質製造。

本製品が選ばれている理由について

ハマイは、半導体製造分野において、特定工程に不可欠な高精度/特殊高圧バルブを製造できる世界のTOP3メーカーとして、業界内で圧倒的な優位性を確立しています。

当社の高圧バルブは、世界中の大手半導体製造メーカーを始めとする様々な最先端テクノロジー企業が採用、高度な開発技術力でお応えしています。

 

<アクチュエーター搭載自動弁 SOFIC型(ステンレス製)>には、ハマイの高度な「高圧バルブテクノロジー」が生かされています。

 

製品仕様

※左右にスワイプしてご覧ください

ガス名 品名 備考
高純度圧縮ガス・液化ガス全般 PAW  

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