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アクチュエーター搭載自動弁 SOFIC型(ステンレス製)
小型且つ軽量、高推力を実現した高性能ステンレス製自動弁
■<SOFIC>は、エアー加圧により作動する、小型且つ軽量、高推力を実現した<高性能ステンレス製自動弁>です。
この<高性能ステンレス自動弁>は、耐食性・耐熱性に優れたステンレス材を使用。従来同型機に比べ、アクチュエーター荷重が3500[N]から5000[N]へ大幅アップ。自動開閉部も、従来製品と比較して、更なる小型化・軽量化を実現、スムーズな容器着脱・設置を可能にしました。
本製品は、高純度ガス、特殊材料ガス等に使用する高圧バルブとして、多数のユーザー様に採用されています。
≪主な対応ガス種≫
腐食性ガス/毒性ガス 他
※厳格な安全性が求められる半導体製造工程にに必要な、腐食性ガス・毒性ガスに対応。オイルフリー構造により、あらゆる環境で使用可能です。
※オプションで始動時に発生する圧力上昇を抑制可能なスロースタート機能搭載タイプもご用意しています。
詳しくはメール・お電話でお問い合わせください。
★<ハマイの高圧バルブは高品質を追求>
ハマイの高圧バルブは、ハマイ独自のダブルOリング構造(2重のシール)や、不燃性にこだわったオイルフリー設計を多数の製品に採用。高気密シート搭載により、半導体や産業機器製造において優れた性能を発揮、安全で確実な作動を実現しています。
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■【製品バリエーション】
・PAW型
・EGPA型
■【本製品の特長】
●5,000Nの高推力アクチュエーターを搭載。
●小型・軽量化により、容器の着脱や設置性が大幅向上。
●日本国内の自社工場による高品質製造。
本製品が選ばれている理由について
ハマイは、半導体製造分野において、特定工程に不可欠な高精度/特殊高圧バルブを製造できる世界のTOP3メーカーとして、業界内で圧倒的な優位性を確立しています。
当社の高圧バルブは、世界中の大手半導体製造メーカーを始めとする様々な最先端テクノロジー企業が採用、高度な開発技術力でお応えしています。
<アクチュエーター搭載自動弁 SOFIC型(ステンレス製)>には、ハマイの高度な「高圧バルブテクノロジー」が生かされています。
製品仕様
※左右にスワイプしてご覧ください
| ガス名 | 品名 | 備考 |
| 高純度圧縮ガス・液化ガス全般 | PAW |





