■＜EGVN型＞は、半導体製造で使用される高純度ガスに対応した＜ステンレス製 タイドダイヤフラムバルブ＞です。

この＜タイドダイヤフラムバルブ＞は、ボディに耐食性と強度に優れたASTM A182 F316Lステンレスを使用。バルブ内部のデッドスペースを、当社従来比より約60％削減、パージ性能と耐食性の大幅アップを実現、更に、特殊フラットシートの採用により、過大トルクによるシート変形の緩和を可能にしました。

本製品は、高純度ガス、特殊材料ガス等に使用する高圧バルブとして、多数のユーザー様に採用されています。

★≪主な対応ガス種≫

腐食性ガス／毒性ガス　他

※流体に合わせて、樹脂シート以外のメタルタッチ仕様の選択が可能です。

※その他、流体に合わせた、様々な種類の接ガス部材質をご用意しています。

詳しくはメール・お電話でお問い合わせください。

★＜ハマイの高圧バルブは高品質を追求＞

ハマイの高圧バルブは、ハマイ独自のダブルOリング構造（2重のシール）や、不燃性にこだわったオイルフリー設計を多数の製品に採用。高気密シート搭載により、半導体や産業機器製造において優れた性能を発揮、安全で確実な作動を実現しています。

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■【製品バリエーション】

・EGVN型

・EGVM型

■【本製品の特長】

●バルブ内部の空間を最小化。当社従来比約40%まで削減。

●ダイヤフラム式ならではのパージ性や、耐食性が大幅に向上。

●CV値0.6以上の大流量を実現
（※但し、圧縮ガスのCV値は0.4以上）。

●特殊フラットシート採用により、シートの変形を抑制。

●シート材質は、用途に応じ選択が可能（PCTFEまたはPVDF）。

●ボディに耐食性と強度に優れたASTM A182 F316Lステンレス材を採用。

●日本国内の自社工場による高品質製造。

●全数漏れ量測定（内部リーク、外部リーク）を実施。