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クリーン仕様 SCR-55L型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ

シンプル構造SUS-55L型の高洗浄クリーン仕様モデル

クリーン仕様 SCR-55L型 ステンレス製ダイヤフラムバルブ
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シンプル構造のSUS-55L型を、高洗浄クリーン仕様化したダイヤフラムバルブ。実績ある55L型構造を採用、本体接ガス部に精密な内面研磨(1S以下)を実施しています。

 

クリーンルーム内にて超純水洗浄により最終洗浄を行い、組立から検査までを実施、高圧ガス保安法に基づき(一部ガスでは対象外)厳格な製造を行っています。

 

【型番】

SCR-55L型

 

特長

・高純度ガス(半導体特殊材料ガス用)として定評ある、SUS-55L型の高洗浄クリーン仕様モデル。

・ボディにSUS316Lステンレス材を使用。

・充てん口はCGA規格(DISS等)各種規格に対応可能。

・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨(1S以下)を実施。

・クリーンルーム内にて、超純水による最終洗浄を実施。

・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定(内部リーク、外部リーク)を実施。

・ベーキング時、取外し可能なフューズメタル構造を採用。

製品仕様

※左右にスワイプしてご覧ください

ガス名 品名 ハンドル 充填口 フューズメタル 備考
不燃性ガス(支燃性) SCR-55L-0HF  
可燃性ガス SCR-55L-1HF  
●充てん口はCGA規格(DISS等)各種対応可能です。      

製品取扱上のご注意

① 容器に装着するとき

■ バルブは、適合する容器以外に装着しない

容器に適合したバルブを装着して下さい。

■ バルブおよび容器のネジが良好であること

ネジに有害な傷等がないことを確認してください。

シール材の再利用はしないでください。

■ 過大なトルクをかけない

 

② ガスを充てんするとき

■ 過充てんをしない

圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。

ガス充てん後、バルブのハンドル(レンチ)を適正なトルクで閉めてください。

 

③ 運搬をするとき

■ 乱暴な取扱いをしない

乱暴な取扱いや落としたりしないでください。

 

④ ガスを消費するとき

■ バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない

 

⑤ 容器から脱却するとき

■ 容器内にガスがないことを確認する

容器内にガスが残っていないことを確認してください。

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