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【特長】高純度ガス用ステンレス製容器バルブ。高洗浄・クリーン仕様。新ダイレクトシール構造によりデッドスペースを極小化、一般的なダイレクトシール構造に比べCv値50％アップしました。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】バルブ内部のデッドスペースを、約60％削減させた次世代型バルブ。パージ性能と耐食性が大幅に向上。液化ガスに最適な高CV値設計で、圧縮ガスにも対応可能です。接ガス部シート材質は、用途に合わせて選択できます。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】ボディにSUS316Lを使用した、高純度ガス用ダイヤフラムバルブのスタンダードモデル。実績ある55L型構造を採用し、幅広い種類の特殊高圧ガスに対応可能です。軽快でスムーズなハンドル動作。ハンドル緩み防止機能を搭載。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】高純度ガス用ダイヤフラムバルブのスタンダード・FS-55LN型のクリーン仕様モデル。ボディの接ガス部に精密な内面研磨を実施、ケレップを含め全接ガス部品に研磨品を使用することで、パーティクルフリーを実現しました。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】小型・軽量・高推力のアクチュエーター搭載自動弁。従来品より、アクチュエーター荷重が大幅アップ。自動開閉部も、さらなる小型化・軽量化を実現しました。また、あらゆる環境で安心して使用できるオイルフリー構造。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】シンプル構造で高純度ガスに対応した、ダイヤフラム型のエコノミーモデル。ボディにSUS316Lを使用し、高純度ガスに対応。充てん口はJIS、CGAなどの各種規格のほか、クリーン仕様にも対応可能です。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】SUS-55L型と同一のシンプル構造を採用したインプラ用バルブ。腐食性等、半導体特殊材料ガス特有の性質に対応し、安全性を考慮した信頼性設計。ハンドル部のカラーは、赤とグレーの2種類から選択可能です。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】シンプル構造で定評あるSUS-55L型を、クリーン仕様化したダイヤフラムバルブ。接ガス部に精密内面研磨を実施。ヘリウムリークディテクターにより漏れ量を全数測定するなど、品質の維持向上を実現しています。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】多数の導入実績を誇る、エアー作動アクチュエーター付きダイヤフラムバルブ。耐食性に優れたSUS316Lをボディに使用し、各種特殊高圧ガスに対応。充填口内にオリフィスを取付けたタイプもご用意しています。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
【特長】PAS-55L型をクリーン仕様化した、エアー作動アクチュエーター付きダイヤフラムバルブ。ボディ材料に耐食性に優れたSUS316Lを使用し、各種特殊高圧ガスに対応可能です。【仕様】・ステンレス製・可燃性・不燃性・支燃性・毒性特殊高圧ガス
