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ダイヤフラムバルブ FS-55LN型(ステンレス製)
振動による緩み防止機能を搭載、 安全性を高めた半導体製造用バルブ
■<FS-55LN型>は、高純度ガス(半導体製造用の特殊材料ガス)に対応した、ステンレス製<ダイヤフラム式・高圧バルブ>です。
この<ダイヤフラム高圧バルブ>は、耐食性に優れたステンレスを使用。駆動部(ハンドル側)と流路を隔離したダイヤフラム構造により、高い気密性とクリーン性を実現、操作部からの油や異物混入を未然に防止する事が可能です。更に、ハンドル緩みを防止する独自機能を搭載、最大14.7MPaに至る容器内圧を、手動操作で完全閉止する事が可能です。
本製品は、高純度ガス、特殊材料ガス等に使用する高圧バルブとして、多数のユーザー様に採用されています。
★≪主な対応ガス種≫
腐食性ガス/毒性ガス 他
※液化ガス用に最適なフラットシートタイプ、充填口内部にオリフィス(流量調整部品)の取付可能タイプもラインナップしています。流体に合わせて、樹脂シート以外のメタルタッチ仕様の選択が可能です。
※その他、流体に合わせた、様々な種類の接ガス部材質をご用意しています。
※標準仕様の高圧バルブ製品は、即納対応可能です(一部製品除く)。
詳しくはメール・お電話でお問い合わせください。
★<ハマイの高圧バルブは高品質を追求>
ハマイの高圧バルブは、ハマイ独自のダブルOリング構造(2重のシール)や、不燃性にこだわったオイルフリー設計を多数の製品に採用。高気密シート搭載により、半導体や産業機器製造において優れた性能を発揮、安全で確実な作動を実現しています。
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■【型番】
・FS-55LN-0HF型
・FS-55LN-1HF型
・FS-55LN-1HF(FRT)型
・FS-55LFN-8HF型
・FS-55LFN-CL2型
・FSC-55LN-0HF型
■【本製品の特長】
●14.7MPaの高容器内圧に対し、手動操作による完全閉止が可能。
●圧縮ガス用バルブの参考Cv値0.3を実現。
●バルブ本体には、振動による緩み防止機構を搭載。
●使用環境に合わせた複数のステンレス製ダイヤフラム式バルブをラインナップ。
●日本国内の自社工場による高品質製造。
●全数漏れ量測定(内部リーク、外部リーク)を実施。
本製品が選ばれている理由
ハマイは、半導体製造分野において、特定工程に不可欠な高精度/特殊高圧バルブを製造できる世界のTOP3メーカーとして、業界内で圧倒的な優位性を確立しています。
当社の高圧バルブは、世界中の大手半導体製造メーカーを始めとする様々な最先端テクノロジー企業が採用、高度な開発技術力でお応えしています。
<ダイヤフラムバルブ FS-55LN型(ステンレス製)>には、ハマイの高度な「高圧バルブテクノロジー」が生かされています。
製品仕様
※左右にスワイプしてご覧ください
| ガス名 | 品名 | ハンドル | 充填口 | フューズメタル | 備考 |
| 不燃性ガス(支燃性) | FS-55LN-0HF | ○ | 右 | ○ | |
| 可燃性ガス | FS-55LN-1HF | ○ | 左 | ○ | |
| 可燃性ガス | FS-55LN-1HF(FRT) | ○ | 左 | ○ | オリフィス用ネジ付 |
| NH3(LG) | FS-55LFN-8HF | ○ | 左 | ○ | フラットシート 右仕様も可 |
| Cl2(LG) | FS-55LFN-CL2 | ○ | 右 | ○ | フラットシート |
| ●小容器用(V1)も対応可能です。 | |||||
| ●充てん口はCGA規格(DISS等)各種対応可能です。 | |||||
| ●表記以外のガスにつきましては、ご相談下さい | |||||
製品取扱上のご注意
① 容器に装着するとき
■ バルブは、適合する容器以外に装着しない
容器に適合したバルブを装着して下さい。
■ バルブおよび容器のネジが良好であること
ネジに有害な傷等がないことを確認してください。
シール材の再利用はしないでください。
■ 過大なトルクをかけない
② ガスを充てんするとき
■ 過充てんをしない
圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。
ガス充てん後、バルブのハンドル(レンチ)を適正なトルクで閉めてください。
③ 運搬をするとき
■ 乱暴な取扱いをしない
乱暴な取扱いや落としたりしないでください。
④ ガスを消費するとき
■ バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない
⑤ 容器から脱却するとき
■ 容器内にガスがないことを確認する
容器内にガスが残っていないことを確認してください。





